大型仪器收费标准

一、高真空多靶磁控溅射镀膜机收费标准

（1）因为是镀膜设备，不同的使用人制备工艺参数可能不一样，制备工艺参数也是研究的一部分，因此，实验室只负责仪器使用和安全培训，使用和安全培训费用：50元/人/次；

（2）靶材：实验室有的按购买价格收费，实验室没有的需使用人自备靶材；

（3）气体：按实际消耗计费；

（4）仪器消耗费：校内：直流磁控溅射50元/小时；射频磁控溅射60元/小时；校外：直流磁控溅射80元/小时；射频磁控溅射100元/小时。

二、多功能光谱测试平台收费标准

（1）该仪器是光谱测试设备，实验室负责仪器的使用和安全培训，使用和安全培训费用：100元/人/次；

（2）仪器损耗费：校内：自测100元/小时，委托测试机：30元/样品；校外：自测150元/小时，委托测试机：35元/样品；

（3）由于操作不当导致仪器损坏，使用人承担修理费用。